半导体绿色制造标杆 | 德图助力台积电实现精准 NOₓ减排与 ESG 升级

近日，德图仪器 Emission 团队携手我国中国台湾地区合作伙伴德斯特仪器，圆满完成全球半导体龙头企业台积电（TSMC）的烟气监测与数据管理项目交付。首批 15 套 testo 350 烟气分析仪及数据采集传输系统已全面投入台积电各厂区日常运行，为其废气治理升级、氮氧化物精准减排、绿色能效优化提供了坚实的数据支撑。

历经近 1 年半的深度协作，从前期用户需求调研、现场工艺勘察，到技术方案论证、样机测试验证，再到最终的系统部署与交付，德图团队与中国台湾德斯特紧密配合，成功解决了台积电在生产制造全流程中的废气检测、VOC 废气处理设备效率评估、厂区排放合规监测等多项核心难题，助力台积电践行绿色低碳发展理念。

项目背景

半导体巨头的绿色升级需求

作为全球知名的半导体制造企业，台积电始终将环保、绿色、低碳作为企业发展的核心战略之一。本次项目正是台积电为落实中国台湾地区《环境保护政策》，采用最佳可行技术实现空气污染物最低排放目标而启动的关键举措，旨在通过优化不同类型废气处理设备的燃烧工况，最终实现 60%-65% 的 NOₓ 减排目标。

台积电与德图的合作由来已久，多年来一直使用 testo 烟气分析仪进行厂区排口的废气排放合规监测。随着企业近年来在环境保护、绿色低碳、ESG 方向的全面深化发展要求，用户需求从简单的单点烟气检测，扩展到了对工艺过程定期&分时段在线监测，以及数据的同步上传和再利用、废气处理设备的燃烧优化和能效管理、再到废气的合规排放监测等多样化需求。具体如下：

• 践行绿色工厂以及 ESG 目标

• 废气处理设备燃烧优化调整

• 对脱硝工艺和效率进行监测

• 环保职能人员对每个厂区的终端排口废气进行手工监测

• 通过烟气测量验证厂商所供应设备是否达标

• 践行绿色工厂以及 ESG 目标

德图定制化解决方案

 精准测量 + 智能数据管理

项目成效

全方位赋能绿色制造

目前，testo 350 烟气分析仪已全面部署于台积电中国台湾所有厂区，广泛应用于日常设备维护、燃烧系统调节与废气排放监测等工作，尤其在脱氮减排技术改进中发挥了关键作用。

1. 全流程精准数据支撑

从燃烧工况调整、NOₓ 源头减排、燃料消耗优化，到 CO₂ 减排与碳捕集利用（CCUS），德图烟气分析仪凭借高精度的测量能力，为每一个环节提供了可靠的数据依据，帮助台积电实现了废气治理的精细化管理。

2. 数字化数据管理升级

通过搭载模拟输出盒和 MODBUS（RS485）模块，testo 350 可将测量数据实时传输至台积电的设备管理平台，实现了测量数据的集中存储、分析与再利用。同时，基于 MODBUS 协议的远程控制功能，让运维人员无需亲临现场即可完成设备操作与故障排查，大幅提升了工作效率。

3. 持续的用户体验保障

德图便携烟气设备兼具专业性能与人性化设计，操作流畅、携带方便，即使在复杂的半导体生产环境中，也能为用户提供稳定可靠的测量体验，获得了台积电环保与运维团队的高度认可。

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